制备氮化硅陶瓷基片的主要方法
氮化硅陶瓷具有导热性高、介电强度高以及与si、sic、gan等的热膨胀系数相匹配等特点，是新一代大规模集成电路、半导体模块电路及大功率器件的理想散热和封装材料。本文来为大家介绍制备氮化硅陶瓷基片的主要方法。
制备氮化硅陶瓷基片的主要方法：
1、流延成型，目前大多数为有机溶剂流延成型，生产成本高、对环境不友好且危害身体健康。
2、注凝成型，也叫凝胶注模成型，是将传统的陶瓷工艺和有机聚合化学结合，将高分子单体聚合的方法灵活地引到陶瓷成型工艺中。该工艺的基本原理是在粘度低、固相含量高的料浆中加入有机单体，在催化剂和引发剂的作用下，使料浆中的有机单体交联聚合形成三维网状结构，使料浆原位固化成型，然后再进行脱模、干燥、去除有机物、烧结，即可得到所需的陶瓷零件。
3、凝胶流延成型，凝胶流延成型工艺是结合了凝胶和流延成型的特点，利用有机单体的聚合原理进行流延成型，该法是将陶瓷粉料分散于含有有机单体和交联剂的溶液中，制备出低粘度且高固相体积分数的悬浮体，然后加入引发剂和催化剂，在一定的温度条件下引发有机单体聚合，使悬浮体粘度增大，从而导致原位凝固成型，使陶瓷粉末均匀分布在高聚物形成的三维网络结构中。因此制备出结构均匀，致密度高、具有一定强度、可进行机加工的坯体。凝胶流延成型所使用的浆料由陶瓷粉末、有机单体、交联剂、溶剂、分散剂、塑性剂等组分配制而成。凝胶流延成型工艺的特点在于可以很大的降低浆料中有机物的使用量，提高浆料的固含量，因而提高素坯的密度和强度，同时大大减轻环境污染，并降低生产成本。
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